硼在自然界中廣泛存在,包括水環境,例如海水、地表水和地下水。 水中硼濃度高會對植物生長和人體健康產生負面影響。對于微電子行業,即使是濃度很低的硼也會導致生產線的超純水 (UPW) 系 統和產品產率出現問題。大多數集成 電路 (IC) 生廠商需要的硼濃度小于 20 ppt,對于一些最新的先進技術來說,甚至低于 1 ppt。
針對當今硼給集成電路行業帶來的挑戰,半導體級硼選擇性離子交換樹脂是一種很好的解決方案。
因此杜邦集團經過多年的研究,經過大量的工作和開發產品等方法,杜邦水處理研發 了均粒的半導體級 AmberTec UP7530。
杜邦 UP7530 樹脂則為高效除硼提供了有力解決方案。它并非普通樹脂,而是半導體級的均粒樹脂,具有卓越的除硼性能。其除硼原理基于特殊的官能團與硼離子之間的特異性結合。這種樹脂的粒徑均勻,在再生過程中,各處的樹脂顆粒都能與再生液充分接觸,避免了部分樹脂無法再生的情況,從而確保了除硼性能的穩定與持久。
杜邦UP7530樹脂優勢:
1.對客戶來說是易于處理的樹脂,且無需消耗化學品,環保。客戶使用該樹脂可以縮短項目的調試時間,替代項目可以快速達到正常運行,杜邦UP7530樹脂的交換容量也高,性能也更加可靠。
2.在具有除硼精處理陰床的UPW拋光系統:
在補給水水質波動時提高出水水質和系統穩定性;降低更換頻率(AmberTec? UP7530 對比拋光 陰離子);延長拋光樹脂壽命。
運行的溫度范圍在:15-25°C(60-77°F)。運行流速是40 – 60 BV/h
從實際應用案例來看,在微電子行業的超純水制備中,杜邦 UP7530 樹脂發揮著關鍵作用。微電子生產對水質要求極高,超純水中硼離子的微量殘留都可能影響產品質量。UP7530 樹脂能夠穩定、高效地去除水中硼離子,保證產出的超純水硼離子含量達標,滿足微電子生產工藝的嚴苛需求。在一些相關企業的超純水系統中,裝填杜邦 UP7530 樹脂的拋光床,持續穩定運行,產出的水質純凈度高,為企業生產高品質電子產品提供了可靠保障。
所以說,杜邦 UP7530 樹脂具備高效的除硼性能,能夠有效應對水中硼離子的去除難題,在超純水制備,特別是對水質要求嚴苛的行業中,具有不可替代的重要地位,為保障生產工藝的順利進行與產品質量的提升發揮著關鍵作用。
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